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水平多关节型4轴晶圆搬运机械手臂适用于半导体

发布日期:2021-11-25 11:08
水平多关节型4轴晶圆搬运机械手臂适用于半导体



水平多关节型4轴晶圆搬运机械手臂特点: 
带有对应PLP自动校准功能的4轴水平多关节型洁净机械手臂
适用于并列配置工位的传送
非接触校准功能可实现搬运
可搬运重量10kg



4轴水平多关节型晶圆搬运机械手臂本参数:
使用环境                      洁净间内的大气环境
手臂                            单臂
到达距离                      1290 mm (被搬送物体中心到达距离)
升降轴MAX行程           400 mm
可搬运质量                  10 kg (手臂第3关节处准)



了解更多:http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/index2.htm


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