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【晶圆搬运机械手臂】带有防水结构,能快速搬运晶圆

发布日期:2021-11-25 11:07
【晶圆搬运机械手臂】带有防水结构,能快速搬运晶圆



晶圆搬运机械手臂特点: 
晶圆搬运机械手臂SWCR3000系列
在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下,能够在酸性,性环境下搬运半导体晶圆
手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性
手臂关节部位防水结构使用V型密封圈
零件之间的结合面采用Viton材质的密封条
Z轴的防水结构可以使用蛇腹管
控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
全轴采用2相步进电机
S曲线加减速控制方式能够高速,搬运半导体晶圆
晶圆固定方式: 真空吸附式,下托式,边缘夹持式
可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供手指


晶圆搬运机械手本参数:
使用环境                         洁净间内的大气环境
手臂                               单臂
到达距离                         312mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴MAX行程              200mm / 300mm
可搬运质量                     3kg以下 (手臂第3关节处准)


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