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晶圆减薄设备GNX200BP_代理商衡鹏

发布时间:2021-11-25 11:10
晶圆减薄设备GNX200BP_代理商衡鹏
代理商衡鹏GNX200BP是一款持续向下进给式减薄设备,采用机械臂传送硅片,减薄完成后,有两个独立的清洗腔,清洗效果更佳。工作盘转速、主轴转速、主轴下压速度都可调,有助于平衡产量、减薄品质、磨轮寿命。采用两点式实时测厚仪测量主轴1和主轴2下的硅片厚度,采用3点测控主轴角度调整机构来控制加工的平整度(TTV)。减薄工序完成后,硅片即会被自动传送的抛光腔,经过抛光工序,去除硅片表面损伤,提高晶圆强度,薄可以加工50μm的晶圆。



晶圆减薄设备GNX200BP规格:
支持wafer尺寸 8英寸
主轴形式                 空气主轴,MAX3600rpm
朱轴驱动电机功率 2.2kW/4kW
磨轮直径                 250mm
工作台数量 3个工作台
工作台形式 机械轴(标配)承或空气轴承(选配)
工作台转速 1-600rpm
测厚机构                 2点接触式测厚机构
测厚精度                 1um
测厚范围                 0-1.2mm
料盒数量                 每个工作单元(减薄&抛光)各2个料盒
抛光机构功率 3kW 交流伺服电机(0-460rpm)
抛光波速                 100-8000mm/min
抛光压力                 50-999g/cm2
抛光磨轮尺寸 200mm
抛光台转速 50-200rpm
真空盘材质 氧化铝边框+陶瓷气孔盘
自洁方式                 水冲+刷洗


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